光学平台,数量:2个,主要技术参数为:(1)无磁光学平台面板尺寸:1500mm*2400mm*305mm,带M6的标准固定孔;(2)四个无磁气浮支撑腿:高495mm(19.5英寸);(3)台面板内部真蜂窝状结构设计,沿蜂窝芯高度方向垂直黏合三芯接面;(4)自平衡时间:优于1.5S;5.共振频率:垂直1Hz,水平1.5Hz;(6)重复水平精度±0.25mm;(7)安装孔密封;(8)侧板:高阻尼侧板;(9)金属材料:无磁316不锈钢;(10)低噪声220V空压机:长*宽*高≤35cm*28cm*34cm;重量≤18kg;流速~0.1m³/h;最大空气压力:8个大气压;储罐容量~3.5L;工作声音(距离30cm处)≤30db。