衡以值 工于用 衡工量值 提高效率
·平面不大于0.05mm/m
·表面粗糙度小于0.8um
·固有频率垂直1.2Hz-1.8Hz,水平1.2Hz-1.8Hz
·振幅不大于1.2um
·重复定位精度±0.05mm
衡工隔振平台选型参数表